真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到真空有一個很大的范圍,蒸發(fā)離子泵:泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內壁的吸氣材料上,以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。隨著真空技術在應用壓強范圍的要求越來越寬,大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求,
隨著真空技術在應用壓強范圍的要求越來越寬,大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求,為了使用方便和真空工藝過程的需要,將各種真空泵按其性能要求組合起來,以機組型式應用。真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)。真空泵與系統(tǒng)的連接管道應密封可靠,對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對小真空泵可采用真空膠管連接,
檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏??紤]達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構間隙容易控制,轉子裝配方便,泵占地面積小。較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構也相對復雜。
蒸發(fā)離子泵:泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內壁的吸氣材料上,以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。立式結構的進、排氣口水平設置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的較高,在高速運轉時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵。了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。